二維激光衍射法在直徑測量系統(tǒng)中的應(yīng)用
[摘要] 一種利用菲涅爾衍射效應(yīng)精確測量工件直徑的方法。該測量系統(tǒng)由處于相互垂直位置的兩組激光二極管和線陣CCD組成，利用工件激光衍射圖樣獲取投影邊界，以幾何方法計算工件直徑。本系統(tǒng)以數(shù)字信號處理器作為數(shù)據(jù)處理芯片，用大規(guī)�？删幊踢壿嬐卣瓜到y(tǒng)功能并控制CCD的時序。該測量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單，測量精度高，抗干擾性強等特點。
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上網(wǎng)時間：2009-03-25
